什么是光谱共焦干涉仪？非接触式轮廓测量技术中的测量精度，通常受机械振动和微扫描台位置不准确的限制。为不再受此类环境干扰，开发了对振动不敏感的全新干涉测量法。采用这种新型干涉仪系统，干涉仪显微镜的精度可达亚纳米级。光谱共焦干涉测量原理干涉测量法基于白光干涉图（SAWLI）的光谱分析。它包括分析在光谱仪上观察到的干扰信号，以便测量参比板和样品之间的气隙厚度。成熟系统的**性在于将参考板固定在检测目标上。由于参考板和样品固定在一起，机械振动不会影响测量结果。此外，该传感器可用于测量太薄而不允许使用光谱共焦技术的透明薄膜。**小可测厚度为0.4μm。马波斯测量科技致力于提供专业的光谱共焦传感器，有想法的可以来电咨询！安徽光谱共焦视觉检测传感器测量速度
光谱共焦传感器可以测量几乎任何类型的材料（玻璃，陶瓷，塑料，半导体，金属，织物，纸张，皮革等）制成的样品。它们可以测量抛光表面（镜子，镜片，晶圆）以及粗糙表面。光斑尺寸、比较大采样斜率、工作距离和测量范围，分别是什么概念比较大采样斜率（Max.sampleslope，简称MSS），是光轴和样品表面法线之间的比较大角度，在此角度条件下测量依然可行。MSS是测量点处的实际局部斜率，而非理论上“平均曲面”的斜率。此功能*对镜面(镜面状)表面有重要意义；对散射表面，比较大采样斜率更高。对于所有类型的采样，采集信号的强度都随着倾斜角度的增加而减小。光斑尺寸(Spotsize)，指光点的理论尺寸，即光斑的大小。工作距离(WorkingDistance)，光学笔前端到量程近端的距离。测量范围(MeasuringRange，简称MR)，0到比较大可量测值的区间范围。又叫测量行程。安徽stil传感器测量范围马波斯测量科技光谱共焦传感器处理值得用户放心。
光谱共焦线传感器由180个点组成，可以测量距离厚度粗糙度形状高分辨率各种材料适用于各种行业。适用于各种材料金属(抛光或粗糙),玻璃,陶瓷,塑料,碳,硅…同轴性无阴影影响精度&分辨率亚微米级精度，Z轴纳米级分辨率被动式(低温、易爆环境)测量区域外的热源和电源大角度镜面可达45°速度比点传感器快180倍光谱共焦视觉检测相机，AOI彩色共焦线相机检测系统：自动光学检测，可以测量尺寸高分辨率各种材料适用于各种行业。工业4.0100%在线自动测量与质量控制柔性系统，高速可达12m/s3D形状/轮廓测量多达6轴汽车挡风玻璃HUD多点厚度测量*需4秒高分辨率的直角坐标机械手：±0.05mm3到5轴3D形状和/或多点厚度测量：±0.05mm重复性适用任何反射表面3D系统致力于粗糙度，3D形貌测量3个高分辨率电动轴(X；Y；Z)：±0.001mm3大尺寸选择：100x100mm2；200x200mm2；300x300m2…可与STIL传感器配套使用，并集成了点、线、相机的3D软件系统亚微米级轴向分辨率薄涂层和空气间隙测量：小于1微米
手表质量的好坏和工件工艺及组装能力有很大的关系。组装好一款手表的工艺过程非常复杂，需要经过三个专业技术将机芯，表盘，内部精密齿轮完美无瑕地组装一起，才能发挥出**长的使用是寿命。机械手表的制造工艺复杂程度可见一斑。在工件制作、使用和组装的过程中，光谱共焦传感器可以检测细小复杂的微部件。光谱共焦技术，基于专有的创新光学原理，从概念设计的第一步到**终校准，一切都在内部完成，除了分包的镜片，机械零件和电子板制造马波斯提供非接触式传感器（测量力小）在内的多种传感器，以及显象或测量计算机。
优势??非接触三维表面轮廓测量??噪音小，测量重复性好??纳米级分辨率：Z轴分辨率比较高可达0.1nm??测量的点云数多：一个面**多可以达到500万个点??点间距小，XY分辨率高??多种视野范围可供选择，快速切换物镜变换视野??测量速度快，可实现在线测量技术特点1.干涉条纹扫描测量表面位置信息的理论根据是被测表面上各点深度不同所形成的干涉光强不同。2.产生干涉情况下，波长与可测量的深度数据相对应。3.在白光干涉中，干涉图样是由各色光形成的单色干涉图样形成的。被测表面上各点的深度不同，根据光的波动性与同调性，所对应的干涉光强中各频谱成分的强度不同，各色光的干涉级次不同。有助于更加准确的得到表面的位置信息膜厚其他半导体用于膜厚的在线测量和质量控，非接触测量，适用于易变形和不透明的材料较小厚度测量5µm。安徽光谱共焦视觉检测传感器测量速度
用点光谱或线光谱传感器测量晶圆上的翘曲/平面度 凸块测量CLMG/EVERESTK1/K2传感器系列可达360,000测点/秒。安徽光谱共焦视觉检测传感器测量速度
激光干涉位移传感器激光干涉仪：超精密皮米位移传感器可实时测量位移、运动和振动，并具有10MHz的数据带宽。一个控制器可连接三个传感测头。认证精度稳定的激光源可确保在纳米范围内获得认证的重复性和准确性。PTB(德国联邦物理技术研究院)已正式测试井证明了lDS3010的高精度。此外，每个IDS3010都是NIST可追踪的。大距离范围IDS3010够进行从几毫米到30m的动态位移测量。高达10Mhz的高带宽,即使在远距离情况下也可以进行振动检测。紧凑和模块设计IDS3010控制器和传感器头的基于光纤的微型化设计允许集成到空间受限的系统中。它的模块化使更换和重新安排变得容易。真空兼容传感头和光纤甚至可以在极端环境下工作，例如高真空，超高真空，低温或辐射恶劣的环境。安徽光谱共焦视觉检测传感器测量速度
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