
对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本发明实施例提供的一种igbt器件的结构图;图2为本发明实施例提供的一种电流敏感器件的结构图;图3为本发明实施例提供的一种kelvin连接示意图;图4为本发明实施例提供的一种检测电流与工作电流的曲线图;图5为本发明实施例提供的一种igbt芯片的结构示意图;图6为本发明实施例提供的另一种igbt芯片的结构示意图;图7为本发明实施例提供的一种igbt芯片的表面结构示意图;图8为本发明实施例提供的另一种igbt芯片的表面结构示意图;图9为本发明实施例提供的另一种igbt芯片的表面结构示意图;图10为本发明实施例提供的另一种igbt芯片的表面结构示意图;图11为本发明实施例提供的另一种igbt芯片的表面结构示意图;图12为本发明实施例提供的另一种igbt芯片的表面结构示意图;图13为本发明实施例提供的另一种igbt芯片的表面结构示意图;图14为本发明实施例提供的另一种igbt芯片的表面结构示意图;图15为本发明实施例提供的一种半导体功率模块的结构示意图;图16为本发明实施例提供的一种半导体功率模块的连接示意图。图标:1-电流传感器;10-工作区域;101-一发射极单元。
该有机银离子化合物为2-乙基己酸银(silver2-ethylhexanoate)。于本发明上述实施例中,该有机添加物为乙基纤维素或甘油。于本发明上述实施例中,该一溶剂为松油醇(α-terpineol)。于本发明上述实施例中,该银基奈米浆料更包含1-3份第二溶剂,主要为在0~25℃仍为液态的三级醇类与各级酮醇类的有机溶剂。于本发明上述实施例中,该第二溶剂为醇(1-hydroxybutanone或acetol)、二醇(4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone或diacetonealcohol)、2-甲基-2-丁醇(2-methyl-2-butanol)、或2-丙醇(2-propanol)。于本发明上述实施例中,该非接触式探针点胶设备更包含一容器,可容纳该银基奈米浆料;一制动装置,设于该容器之一侧,用以作为推压的动力源;一推进活塞,设于该容器上并与该制动装置电性连接,其一端为活塞头,另一端为连杆,受该制动装置驱动而产生上、下运动;以及一探针,设于该容器底端,当该探针前端的银基奈米浆料碰触到该散热基板的瞬间,该组传感器量测电容(电阻)即会改变,此时设备可自动停止下针,完成浆料涂布。于本发明上述实施例中,该步骤二是将涂布于该散热基板上的银基奈米浆料加温至55~85℃,持温5~10分钟。于本发明上述实施例中,该步骤四热压接合制程后。
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