
所述发射区通过顶部的对应的接触孔连接到所述金属源极;令所述发射区顶部对应的接触孔为源极接触孔11,所述源极接触孔11还和穿过所述发射区和所述阱区2接触。所述一屏蔽多晶硅4a和所述第二屏蔽多晶硅4b也分布通过对应的接触孔连接到所述金属源极。步骤十、如图1所示,对所述半导体衬底进行背面减薄,进行第二导电类型重掺杂注入并进行退火在所述漂移区1的底部表面形成有由第二导电类重掺杂区组成的集电区9。更择为,在背面减薄之后以及形成所述集电区9之前,还包括进行一导电类型重掺杂注入并进行退火在所述漂移区1的底部表面形成有由一导电类重掺杂区组成的电场中止层8,后续形成的所述集电区9位于所述电场中止层8的背面。步骤十一、如图1所示,在所述集电区9的底部表面形成由背面金属层13组成的金属集电极。通过形成于所述栅极结构两侧的具有沟槽101式结构的所述第二屏蔽电极结构降低igbt器件的沟槽101的步进,从而降低igbt器件的输入电容、输出电容和逆导电容,提高器件的开关速度;通过将所述一屏蔽多晶硅4a和所述第二屏蔽多晶硅4b和所述金属源极短接提高器件的短路电流能力;通过所述电荷存储层14减少器件的饱和压降。
目前,为了防止高dV/dt应用于桥式电路中的IGBT时产生瞬时集电极电流,设计人员一般会设计栅特性是需要负偏置栅驱动的IGBT。然而提供负偏置增加了电路的复杂性,也很难使用高压集成电路(HVIC)栅驱动器,因为这些IC是专为接地操作而设计──与控制电路相同。因此,研发有高dV/dt能力的IGBT以用于“单正向”栅驱动器便为理想了。这样的器件已经开发出来了。器件与负偏置栅驱动IGBT进行性能表现的比较测试,在高dV/dt条件下得出优越的测试结果。为了理解dV/dt感生开通现象,我们必须考虑跟IGBT结构有关的电容。图1显示了三个主要的IGBT寄生电容。集电极到发射极电容C,集电极到栅极电容C和栅极到发射极电容CGE。图1IGBT器件的寄生电容这些电容对桥式变换器设计是非常重要的,大部份的IGBT数据表中都给出这些参数:输出电容,COES=CCE+CGC(CGE短路)输入电容,CIES=CGC+CGE(CCE短路)反向传输电容,CRES=CGC图2半桥电路图2给出了用于多数变换器设计中的典型半桥电路。集电极到栅极电容C和栅极到发射极电容C组成了动态分压器。当IGBT(Q2)开通时,低端IGBT(Q1)的发射极上的dV/dt会在其栅极上产生正电压脉冲。对于任何IGBT。
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