晶圆片在工艺槽之间的移动，通过机械手完成。可实现干进干出，自动上料、自动下料，自动配液、自动补液。全自动多用于工作环境、工艺要求高的工序，以及大尺寸晶圆清洗。
自动化设备优点：减少人力，及人为造成的二次污染，提高产品一致性，提高产品质量和稳定性，更适合大批量生产。
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