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2026-07
星期 三
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广州专业磁控溅射分类 广东省科学院半导体研究所供应
在磁控溅射靶材的回收与再利用领域，研究所开发了环保型再生工艺。针对废弃靶材的成分特性，采用机械研磨与化学提纯相结合的预处理方法，去除表面氧化层与杂质，再通过磁控溅射原理进行靶材再生——将提纯后的材料作为靶材，通过溅射沉积于新的衬底
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2026-07
星期 三
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广州智能磁控溅射用途 广东省科学院半导体研究所供应
广东省科学院半导体研究所开发的磁控溅射复合涂层技术在高级装备领域展现出巨大潜力。通过将CrN基涂层与自润滑相结合，采用多靶磁控溅射系统实现分层沉积——底层通过高能脉冲磁控溅射形成高结合力过渡层，表层通过平衡磁控溅射引入MoS₂润滑
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2026-07
星期 三
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广州射频磁控溅射方案 广东省科学院半导体研究所供应
针对深紫外光电子器件的材料需求，研究所开展了磁控溅射制备AlN薄膜的专项研究。借鉴异质外延技术思路，在不同晶面取向的蓝宝石衬底上采用反应磁控溅射沉积AlN薄膜，并结合高温退火工艺优化晶体质量。研究发现，经1700℃退火后，c面蓝宝
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2026-07
星期 三
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广州金属磁控溅射处理 广东省科学院半导体研究所供应
在交通领域的节能应用中，该研究所的磁控溅射技术实现了突破性进展。其开发的耐磨减摩涂层通过磁控溅射工艺沉积于汽车发动机三部件表面，利用高致密性薄膜的润滑特性，使部件摩擦系数降低25%，进而实现整车油耗减少3%的效益。该涂层采用Cr-
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2026-07
星期 三
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广州金属磁控溅射分类 广东省科学院半导体研究所供应
化合物材料磁控溅射工艺是一种利用高能粒子轰击高纯度靶材，经过复杂的粒子散射和靶原子级联碰撞过程，将靶材原子溅射出来并沉积在样品表面的先进工艺。此工艺特别适合制备AlN、ITO、SiN、ZnO、IGZO等功能性化合物薄膜，广泛应用于
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