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不同项目的材料刻蚀需求往往千差万别,标准化的工艺难以覆盖所有情况,定制化方案因而成为许多用户的选择。定制通常围绕材料种类、刻蚀深度、线宽要求与结构形貌展开:硅、氧化硅、氮化硅、氮化镓、AlGaInP等材料特性不同,需分别设计气体组
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