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2026-05
星期 五
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广州真空磁控溅射价格 广东省科学院半导体研究所供应
广东省科学院半导体研究所在磁控溅射技术的极性调控领域取得突破，其开发的双向脉冲双靶闭合式非平衡磁控溅射系统独具特色。该系统将两个磁控靶连接于同一脉冲电源，通过周期性变换靶材极性，使两靶交替充当阴极与阳极——阴极靶执行溅射沉积的同时
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2026-05
星期 四
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广州射频磁控溅射方案 广东省科学院半导体研究所供应
磁控溅射设备是一种常用的表面处理设备，用于制备各种材料的薄膜。为了保证设备的正常运行和延长设备的使用寿命，需要进行定期的维护和检修。设备维护的方法包括以下几个方面：1.清洁设备：定期清洁设备的内部和外部，清理积尘和杂物，保持设备的
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2026-05
星期 四
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广州真空磁控溅射设备 广东省科学院半导体研究所供应
该研究所将磁控溅射技术与半导体器件封装工艺深度融合，开发了高性能金属化薄膜制备方案。针对MEMS器件的微型化需求，采用射频磁控溅射技术在硅基衬底上沉积Ti/Au复合金属层，通过控制靶基距与基片温度，使金属膜层厚度精度达到±2nm。
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2026-05
星期 四
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广州单靶磁控溅射流程 广东省科学院半导体研究所供应
入射粒子在靶材内部经历复杂的散射，与靶原子相互撞击，将部分动量传递给靶原子，随后靶原子与周围原子发生级联碰撞，使得部分表面附近的靶原子获得足够的动能脱离靶面，实现材料的溅射。高均匀性磁控溅射方案的设计，关键在于如何控制这一过程，使
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2026-05
星期 四
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广州磁控溅射特点 广东省科学院半导体研究所供应
金属薄膜磁控溅射咨询服务旨在为科研机构和企业提供专业的技术方案和工艺指导，帮助用户解决在薄膜制备过程中遇到的各类技术难题。咨询内容涵盖靶材选择、溅射参数设定、设备配置建议以及后续薄膜性能评估。磁控溅射的工艺设计需要考虑靶材的物理性
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